Monte Carlo Simulation of Ionization Sputtering (1st Report, Reproduction of Shape of Buried Cu Films): 1st Report, Reproduction of Shape of Buried Cu Films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nihon Kikai Gakkai rombunshuu. B hen 2004, Vol.70 (689), p.9-16
Hauptverfasser:	YAMAZAKI, Osamu, TAKAGI, Shigeyuki, IYANAGI, Katsumi, KINOSHITA, Kazuya, MASE, Koichi, YAHIRO, Kazuyuki, NANBU, Kenichi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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