Effect of Blade Surface Roughness on the Pumping Performance of Turbomolecular Pumps

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nihon Kikai Gakkai rombunshuu. B hen 2003, Vol.69 (681), p.1187-1192
Hauptverfasser:	YABUKI, Masuhisa, SAWADA, Tadashi, SUGIYAMA, Wataru, HARADA, Saori, WATANABE, Mitsunori
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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