Direct-Simulation-Monte-Carlo Analyses on Rarefied-Gas-Flow-Structure and Ventilation of Etching Product in Magneto-Microwave-Plasma Etching Reactor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nihon Kikai Gakkai rombunshuu. B hen 2000, Vol.66 (648), p.1992-1997
Hauptverfasser:	IKEGAWA, Masato, OGAWA, Yoshihumi, FUKUYAMA, Ryoji, USUI, Tatehito, TANAKA, Junichi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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