Spiral Grooved Vacuum Pump Working in the Coarse Vacuum Region. Improvement in Performance by Means of Grooved Sleeves

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nihon Kikai Gakkai rombunshuu. B hen 1992, Vol.58 (556), p.3666-3670
Hauptverfasser:	SAWADA, Tadashi, IGUCHI, Masashi
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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