Diphenyliodonium salts with pyranine conk as an environment-friendly photo-acid generator and their applications to chemically amplified resists

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Polymer journal 2005-01, Vol.37 (8), p.545-549
Hauptverfasser:	TARUMOTO, Naohiro, MIYAGAWA, Nobukazu, TAKAHARA, Shigeru, YAMAOKA, Tsuguo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Physicochemistry of polymers Polymers and radiations Properties and characterization
Online-Zugang:	Volltext
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