Structure and Hardness Evolution of Silicon Carbide Epitaxial Layers Irradiated with He + } Ions

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Acta physica Polonica, A A, 2019-08, Vol.136 (2), p.351-355
Hauptverfasser:	Pilko, V.V., Komarov, F.F., Budzynski, P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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