Ion Beam Induced Surface Modification of ta-C Thin Films

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Acta physica Polonica, A A, 2017-08, Vol.132 (2), p.299-301
Hauptverfasser:	Berova, M., Sandulov, M., Tsvetkova, T., Kitova, S., Bischoff, L., Boettger, R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!