Combination of glow-discharge and arc plasmas for CF4 abatement

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Research on chemical intermediates 2001-11, Vol.27 (9), p.957-974
Hauptverfasser:	Huang, Aimin, Xia, Guanguang, Spiess, Franz-Josef, Chen, Xiao, Rozak, Jeffery, Suib, Steven L., Takahashi, Tomonori, Hayashi, Yuji, Matsumoto, Hiroshige
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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