Flash-Lamp Enabled Atomic Layer Deposition of Titanium Oxide

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2021-10, Vol.MA2021-02 (29), p.869-869
Hauptverfasser:	Knaut, Martin, Deltschew, Rumen, Albert, Matthias, Mikolajick, Thomas
Format:	Artikel
Sprache:	eng
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