TiN Metal Hard Mask Removal with Selectivity to Tungsten and TiN Liner

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2013-10, Vol.MA2013-02 (30), p.2124-2124
Hauptverfasser:	Chen, Li-Min, Lippy, Steven, Peethala, Brown, Sankarapandian, Muthumanickam, Rath, David L, Boggs, Karl, Kennedy, Evelyn
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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