Impact of STI Gap-Fill Process Deposited By HDP-CVD in Flash Memory

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2013-10, Vol.MA2013-02 (27), p.2005-2005
Hauptverfasser:	Park, Hyoung-sun, Kim, Ki-yong, Hong, Ok-cheon, Kim, Hong-sig, Lee, Haebum, Lee, Kyu-pil, Cho, In-soo, Choi, Byoung-deog
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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