Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of III-Nitride Thin Films

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2013-10, Vol.MA2013-02 (24), p.1887-1887
Hauptverfasser:	Ozgit-Akgun, Cagla, Donmez, Inci, Biyikli, Necmi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!