A Threading Dislocation Density Study of Ge Epitaxial Layer on Si and The Dependency on Various Post Growth Treatments

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2012-06, Vol.MA2012-02 (43), p.3128-3128
Hauptverfasser: Silber, Amir, Ginsburg, Eyal
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:2151-2043
2151-2035
DOI:10.1149/MA2012-02/43/3128