A Threading Dislocation Density Study of Ge Epitaxial Layer on Si and The Dependency on Various Post Growth Treatments
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Veröffentlicht in: | Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2012-06, Vol.MA2012-02 (43), p.3128-3128 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 2151-2043 2151-2035 |
DOI: | 10.1149/MA2012-02/43/3128 |