Advances in ALD GST Process and Equipment for sub-20nm PCRAM Devices : Precursor delivery, GST Gapfill and Electrical Characterization

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2012-06, Vol.MA2012-02 (37), p.2808-2808
Hauptverfasser:	Karim, Zia, Yang, Lin, Mack, Jerry, Liu, Ming, Weber, Ulrich, Baumann, Peter, Ramanathan, Sasangan, Lu, Brian, Czubatyj, Wally, Hudgens, Stephen, Lowrey, Tyler
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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