Simulation of Shape Evolution in Through-Mask Electrochemical Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2012-06, Vol.MA2012-02 (34), p.2741-2741
Hauptverfasser:	Wilson, Gregory J., McHugh, Paul, Lee, Sam, Ritzdorf, Tom L.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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