Catalytic Etching of Silicon - Influence of Etchant Concentration and Catalyst Geometry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2012-02, Vol.MA2012-01 (2), p.16-16
Hauptverfasser:	Lianto, Prayudi, Thompson, Carl V., Choi, Wee Kiong
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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