Novel Approach for Fabrication of 3D Micro/nano-Structures by Combining Focused Ion Beam Technique with Room-Temperature Ionic Liquid

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2011-08, Vol.MA2011-02 (44), p.2536-2536
Hauptverfasser:	Minamimoto, Hiro, Inoue, Kosuke, Tsuda, Tetsuya, Imanishi, Akihito, Seki, Shu, Kuwabata, Susumu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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