Investigation on the Drying Dynamics of Millimetric Water Droplets: Source of Watermarks on Silicon Wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2011-08, Vol.MA2011-02 (30), p.2059-2059
Hauptverfasser:	Belmiloud, Naser, Mertens, Paul W., Tamaddon, Amir-Hossein, Struyf, Herbert
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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