Clustering of Antimony Implanted in Silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2011-08, Vol.MA2011-02 (25), p.1812-1812
Hauptverfasser:	Koffel, Stephane, Pichler, Peter, Reading, Michael, Van den Berg, Jakob, Kheyrandish, Hamid, Hamm, Silke, Lerch, Wilfried, Pakfar, Ardechir, Tavernier, Clement
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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