Synthesis of Copper and Copper Ruthenium Nanoparticles in Ionic Liquids for Advanced Metallization of Interconnect Structures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2011-03, Vol.MA2011-01 (3), p.79-79
Hauptverfasser:	Arquilliere, Philippe P., Haumesser, Paul-Henri, Santini, Catherine
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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