Fundamentals of III-V Semiconductor Electrochemistry and Wet Etching Processes: Br 2 Etching Properties onto InP

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2011-03, Vol.MA2011-01 (21), p.1317-1317
Hauptverfasser:	Gérard, Isabelle, Causier, Alexandre, Bouttemy, Muriel, Tran-Van, Pierre, Etcheberry, Arnaud
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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