Fabrication of MEMS on Printed Circuit Boards

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2010-07, Vol.MA2010-02 (33), p.2029-2029
Hauptverfasser:	Cvetkovic, Srecko, Wienecke, Anja, Rissing, Lutz
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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