Nanocrystalline Diamond Thin Films: High Temperature Dielectric Properties and Wide Bandgap Semiconductor Device Passivation Applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2010-07, Vol.MA2010-02 (28), p.1775-1775
Hauptverfasser: Govindaraju, Nirmal, Das, Dibakar, Kosel, Peter, Singh, Raj
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:2151-2043
2151-2035
DOI:10.1149/MA2010-02/28/1775