Bonding Energy of Silicon-to-Glass Wafer Bonding

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2010-07, Vol.MA2010-02 (27), p.1713-1713
Hauptverfasser:	Chuang, Ta-Ko, Usenko, Alex, Cites, Jeffery
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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