Ultrafast Atomic Layer Deposition of Alumina Layers for Solar Cell Passivation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2010-07, Vol.MA2010-02 (20), p.1438-1438
Hauptverfasser:	Poodt, Paul, Lankhorst, Adriaan, Roozeboom, Fred, Tiba, Veronica, Spee, Karel, Maas, Diederik, Vermeer, Ad
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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