Strain Evaluation in SiC MEMS Test Structures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2009-07, Vol.MA2009-02 (34), p.2623-2623
Hauptverfasser:	Bosi, Matteo, Attolini, Giovanni, Watts, Bernard E., Frigeri, Cesare, Rossi, Francesca, Poggi, Antonella, Roncaglia, Alberto, Mancarella, Fulvio, Martinez, Oscar, Hortelano, Vanesa
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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