Preparation of Iridium Thin Film by Pulse CVD from Ir(acac)(CO) 2

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2009-07, Vol.MA2009-02 (34), p.2600-2600
Hauptverfasser:	Semyannikov, Pyotr P., Morozova, Natalia B., Zherikova, Kseniya V., Trubin, Sergey V., Igumenov, Igor K., Gelfond, Nikolay V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!