Rare-Earth Based Oxide and Nitride Thin Films Employing Volatile Homoleptic Guanidinate Precursors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2009-07, Vol.MA2009-02 (34), p.2482-2482
Hauptverfasser:	Milanov, Andrian P., Thiede, Tobias, Parala, Harish, Bock, Claudia, Becker, Hans-Werner, Ngwashi, Divine, Cross, Richard, Paul, Shashi, Kunze, Ulrich, Fischer, Roland, Devi, Anjana
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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