Optimization of Shallow Junctions Achieved by Cluster Ion Implants and Excimer Laser Annealing

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2009-07, Vol.MA2009-02 (31), p.2362-2362
Hauptverfasser:	Krull, Wade, Sekar, Karuppanan, Sebatier, Clement, Rack, Simon
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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