Multi-Vibrational Hydrogen Release: A Dielectric Breakdown Model for Ultra-thin SiO2/SiON and High-K Stack

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2009-05, Vol.MA2009-01 (19), p.789-789
1. Verfasser: Ribes, Guillaume C.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:2151-2043
2151-2035
DOI:10.1149/MA2009-01/19/789