Multi-Vibrational Hydrogen Release: A Dielectric Breakdown Model for Ultra-thin SiO2/SiON and High-K Stack
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Veröffentlicht in: | Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2009-05, Vol.MA2009-01 (19), p.789-789 |
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1. Verfasser: | |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 2151-2043 2151-2035 |
DOI: | 10.1149/MA2009-01/19/789 |