Creating Thin-Film Silicon on Flexible Substrates using Adhesive Bonding and Wet Etching

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2008-08, Vol.MA2008-02 (33), p.2197-2197
Hauptverfasser: Song, Shin-Da, Holl, Susan L., Colinge, Cynthia, Hobart, K. D., Kub, Fritz
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:2151-2043
2151-2035
DOI:10.1149/MA2008-02/33/2197