Double-flip Transfer of InP Layers using Ion-cut, SU-8 and BCB-Bonding

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2007-03, Vol.MA2007-01 (1), p.78-78
Hauptverfasser:	Chen, Wayne H., Chen, Peng, Jing, Yi, Lau, S. S., Kuech, T.F., Liu, Jia-Riu, Wang, Xeimei, Chu, Wei-Kan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!