Er-doped Silicon-rich Silicon Oxide (SRSO) Thin FilmsDeposited by ECR-PECVD at High Temperatures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2006-02, Vol.MA2006-01 (23), p.825-825
Hauptverfasser:	Wojcik, Jacek, Zalloum, Othman, Flynn, Mike
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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