Quantitative Analysis of Reaction of Hydrogen-Terminated Si(100) with Oxygen during Heating

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2006-02, Vol.MA2005-02 (19), p.729-729
Hauptverfasser:	Morita, Mizuho, Urabe, Shinichi, Nishimura, Kazuo, Nishikawa, Syuhei, Morita, Satoru
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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