Advanced Nano-analysis of High-k Dielectric Stacks

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2006-02, Vol.MA2005-02 (13), p.523-523
Hauptverfasser: MacKenzie, Maureen, Docherty, Frances, Craven, Alan, McComb, David, McGilvery, Catriona
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:2151-2043
2151-2035
DOI:10.1149/MA2005-02/13/523