Surface Energy of Fusion Bonded Silicon Nitride to Silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2006-02, Vol.MA2005-01 (11), p.519-519
Hauptverfasser:	Midtbo, Kjersti, Schjolberg-Henriksen, Kari, Taklo, Maaike M.V., Ronnekleiv, Arne
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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