Particle Generation on Hydrogen-Terminated Si Surface by Brush Scrubbing of Polyvinyl Alcohol

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (11), p.D651
Hauptverfasser:	Sato, Nobuyoshi, Shimogaki, Yukihiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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