Hydrazine (N 2 H 4 )-Based Surface Treatment for Interface Quality Improvement in Al 2 O 3 /AlGaN/GaN MIS-HEMT

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS journal of solid state science and technology 2017, Vol.6 (4), p.P184-P186
Hauptverfasser:	Jung, Hyun-Wook, Shin, Min Jeong, Chang, Sung-Jae, Ahn, Ho-Kyun, Do, Jae-Won, Cho, Kyu Jun, Won, Chul-Ho, Min, Byoung-Gue, Kim, Haecheon, Yoon, Hyung Sup, Lee, Jung-Hee, Lim, Jong-Won
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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