Advanced Interconnects: Materials, Processing, and Reliability

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS journal of solid state science and technology 2015-01, Vol.4 (1), p.Y1-Y4
Hauptverfasser:	Baklanov, Mikhail R., Adelmann, Christoph, Zhao, Larry, De Gendt, Stefan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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