Nanoscale Topography of Thermally-Grown Oxide Films at Right-Angled Convex Corners of Silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2012-01, Vol.159 (2), p.H79-H84
Hauptverfasser:	Sarioglu, A. Fatih, Kupnik, Mario, Vaithilingam, Srikant, Khuri-Yakub, Butrus T.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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