O 3 -TEOS CVD Film Formation on Thermal SiO 2 Pre-Coated with Ethanol

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS journal of solid state science and technology 2012, Vol.1 (5), p.N73-N78
Hauptverfasser:	Sato, Nobuyoshi, Shimogaki, Yukihiro
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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