Impact of Wafer Geometry on CMP for Advanced Nodes

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (10), p.H1002
Hauptverfasser:	Vukkadala, Pradeep, Turner, Kevin T., Sinha, Jaydeep K.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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