Effect of HfO2 Crystallinity on Device Characteristics and Reliability for Resistance Random Access Memory
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Veröffentlicht in: | Electrochemical and solid-state letters 2011, Vol.14 (8), p.H337 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1099-0062 |
DOI: | 10.1149/1.3591439 |