Air-Based Deposition of Conductive Nitride Thin Films by Sputtering

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (6), p.P75
Hauptverfasser:	Chan, Mu-Hsuan, Lu, Fu-Hsing
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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