A DLTS Study of SiO2 and SiO2/SiNx Surface Passivation of Silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (6), p.H612
Hauptverfasser:	Simoen, E., Gong, C., Posthuma, N.E., Van Kerschaver, E., Poortmans, J., Mertens, R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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