200 mm Silicon On Porous Layer Substrates Made by the Smart Cut Technology for Double Layer-Transfer Applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (5), p.H595
Hauptverfasser:	Stragier, A.-S., Signamarcheix, T., Salvetat, T., Nolot, E., Dechamp, J., Mercier, D., Gergaud, P., Tauzin, A., Clavelier, L., Lemiti, M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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