MEMS Process by Film Transfer Using a Fluorocarbon Anti-Adhesive Layer

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (5), p.H545
Hauptverfasser:	Schelcher, G., Brault, S., Parrain, F., Lefeuvre, E., Dufour-Gergam, E., Tatoulian, M., Bouville, D., Desgeorges, M., Verjus, F., Bosseboeuf, A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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