Ozone Based Atomic Layer Deposition of Hafnium Oxide and Impact of Nitrogen Oxide Species

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (5), p.D259
Hauptverfasser:	Delabie, Annelies, Swerts, Johan, Elshocht, Sven Van, Jung, Sung-Hoon, Raisanen, Petri I., Givens, Michael E., Shero, Eric J., Peeters, Jozef, Machkaoutsan, Vladimir, Maes, Jan Willem
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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