Effects of N2O Postdeposition Annealing on Metal-Organic Decomposed CeO2 Gate Oxide Spin-Coated on GaN Substrate

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (4), p.H423
Hauptverfasser: Quah, H. J., Cheong, K. Y., Hassan, Z., Lockman, Z.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0013-4651
DOI:10.1149/1.3548542