Effects of N2O Postdeposition Annealing on Metal-Organic Decomposed CeO2 Gate Oxide Spin-Coated on GaN Substrate
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Veröffentlicht in: | Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (4), p.H423 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0013-4651 |
DOI: | 10.1149/1.3548542 |