Fabrication of Silicon Nanostructured Thin Film and Its Transfer from Bulk Wafers onto Alien Substrates

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2011, Vol.158 (2), p.D95
Hauptverfasser:	Shiu, Shu-Chia, Hung, Shih-Che, Syu, Hong-Jhang, Lin, Ching-Fuh
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!